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Yes

MPX5999D いくつかの用途

このセンサを電子圧力コントローラで使用する場合、電子圧力コントローラの動作原理は、比例弁の開度を調整することによって流量を変化させ、それによって圧力を変化させることである。圧力測定には、圧力センサーを使用します。センサーの読み取り値と設定値を比較することにより、比例弁の開度が調整され、ホストコンピュータによって設定された圧力値が実際の圧力値と一致するようにする。制御対象となる圧力値は、センサが出力する差圧値である。このプロセス全体を通して、ホストコンピュータからの設定値は変更されません。設定値は差圧値であり、制御値もまた差圧値です。P2 = 100 kPaの場合、電子圧力コントローラは正常に動作します。P2が100kPaから80kPaに低下すると、電子圧力コントローラ出力流量はゼロに近づき、設定値よりもはるかに低くなります。これはセンサに起因する問題でしょうか？考えられる解決策は何ですか？

Re: MPX5999D 一些应用问题

こんにちは、ユウウェイです。

制御システムについてのご説明、ありがとうございました。ご説明いただいた内容から判断すると、これはMPX5999Dの故障によるものではありません。センサーは正常に動作しています。

流量の低下は、制御ループの自然な空気圧反応です。基準圧力P2が100kPaから80kPaに低下すると、コントローラは絶対圧力P1を自動的に下げて、まったく同じ差圧設定値を維持する必要があります。この絶対圧力の低下により、ガスの密度と駆動力が低下し、比例弁を通過する流量が自然とほぼゼロまで減少する。

この問題を解決するには、P2ポートを安定した大気圧基準に開放して圧力変動から切り離すか、P2が低下した際に失われるガス密度を補償するためにソフトウェアで差動設定値を動的に増加させるかのどちらかの方法が有効だと思います。

BRs、トーマス

追記：STマイクロエレクトロニクスは、NXPのMEMSセンサ事業の買収を既に完了しています。これらのセンサの製造、サポート、およびドキュメントはすべてST社に完全に移管されました。