このセンサを電子圧力コントローラに使用した場合、P2 = 100 kPa のときは電子圧力コントローラは正常に動作しますが、P2 が 100 kPa から 80 kPa に低下すると、電子圧力コントローラの出力流量はゼロに近づき、設定値よりもはるかに低くなります。基準圧力が低いことがセンサの誤作動の原因になっていると推測されます。
親愛なるユウウェイさん
MPX5999Dおよびその他のMEMSセンサーはSTマイクロエレクトロニクス社に譲渡されましたのでご注意ください。サポートについては、STマイクロエレクトロニクス社のウェブサイト（https://www.st.com/content/st_com/en/support/support-home.html）をご覧ください。
MPX5999Dのデータシートの表2の下にある注記を参照してください。ポートP1に加える圧力は、常にポートP2に加える圧力以上でなければならない。
敬具、
ヨゼフ